Caracterització i optimització de les propietats de la pel·lícula sputtered

0020-27123 PEDESTAL, PCII 8"

0020-28937 PEDESTAL, 8 PULGADES

Caracterització iOoptimització deSputtFilmPpropietats

La tecnologia de pel·lícula fina juga un paper crucial en la tecnologia moderna. Com a mètode d'ús habitual per a la preparació de pel·lícules primes, la clau de l'èxit del recobriment de magnetrons es troba en la caracterització precisa de les propietats de la pel·lícula.

I.Caracterització de les propietats físiques de pel·lícules primes

Les propietats físiques de les pel·lícules primes cobreixen molts aspectes com ara el gruix, la densitat, la porositat, etc. L'el·lipsòmetre és com un mestre de mesura precisa, capaç de mesurar amb precisió el gruix de les pel·lícules primes. La difractoscòpia de raigs X pot obtenir informació sobre l'estructura interna de les pel·lícules primes i analitzar el seu estat de cristal·lització, proporcionant així una base sòlida per avaluar la compacitat de les pel·lícules primes. Amb les seves imatges d'alta resolució, el microscopi electrònic d'escaneig ens permet veure clarament la topografia superficial de la pel·lícula, jutjant encara més la seva uniformitat i adherència. Aquests instruments d'última generació actuen com a tot terreny per donar-nos una imatge completa de les propietats físiques de la pel·lícula.
II. Caracterització de les propietats químiques de pel·lícules primes
Les propietats químiques d'una pel·lícula inclouen elements clau com ara la composició química i l'estat d'enllaç químic. L'espectroscòpia de fotoelectrons de raigs X actua com a detectiu químic, permetent una anàlisi en profunditat de la composició elemental i dels estats de valència química en pel·lícules primes. L'espectroscòpia infraroja de transformada de Fourier es pot utilitzar per detectar els tipus d'enllaços químics en pel·lícules primes i avaluar-ne l'estabilitat química i la resistència a la corrosió. Amb aquestes potents tècniques de caracterització, podem entendre millor el comportament químic de les pel·lícules primes en diferents entorns.
III.Caracterització de les propietats mecàniques de pel·lícules primes
Les propietats mecàniques de la pel·lícula, com ara la duresa, el mòdul elàstic, la resistència al desgast, etc., estan directament relacionades amb la seva durabilitat en aplicacions pràctiques. Un nanoindentador és com un provador de pressió en miniatura que mesura amb precisió la duresa i el mòdul elàstic d'una pel·lícula. El provador de rascades simula la fricció i el rascat en ús real per avaluar la resistència a l'abrasió de la pel·lícula. Aquests instruments ens proporcionen un indicador important de la resistència mecànica de la pel·lícula.
IV.Optimització de les propietats del film
Mitjançant una caracterització exhaustiva i una anàlisi en profunditat de les propietats de la pel·lícula, podem identificar els paràmetres clau del procés que afecten les propietats de la pel·lícula. Per exemple, ajustar la potència de pulverització i la pressió de l'aire pot optimitzar la compacitat i la uniformitat de la pel·lícula. Quan la potència de pulverització és moderada i la pressió de l'aire és adequada, els àtoms de pulverització es poden dipositar al substrat en el millor estat per formar una pel·lícula uniforme i densa. L'ajust del tipus de gas de pulverització i de la temperatura del substrat pot optimitzar la composició química i les propietats mecàniques de la pel·lícula. Si escolliu el gas de pulverització correcte, podeu introduir elements específics a la pel·lícula, donant-li propietats químiques especials. Al mateix temps, un control raonable de la temperatura del substrat pot millorar l'adhesió entre la pel·lícula i el substrat i millorar la seva resistència mecànica.