Estructura principal de l'equip Etch

 

L'estructura de l'equip de gravat principal es pot dividir en dues parts: el cos principal i l'equip auxiliar. Entre ells, el cos principal d'equips de gravat inclou EFEM (extrem frontal de l'equip), TM (mòdul de transmissió), PM (mòdul de procés) i tres mòduls. El mòdul EFEM s'encarrega principalment de carregar hòsties de diversos equips de manipulació (inclosos carregadors d'hòsties, robots de manipulació i grues) a la fàbrica de semiconductors en equips de gravat; El mòdul TM s'encarrega principalment de la transferència de les hòsties dins de l'equip de gravat; PM és el mòdul que realment va gravar l'hòstia i es produeixen les reaccions fisicoquímiques relacionades. La funció de l'equip auxiliar és proporcionar suport de garantia per als tres mòduls anteriors, i la disposició és relativament independent del cos principal de la màquina.

Amb l'augment de la demanda de la capacitat de producció d'un únic equip de gravat en la fabricació de circuits integrats, el nombre de cavitats de reacció d'una única màquina de gravat mostra una tendència de menys a més. A la dècada de 1990, Tokyo Electron va llançar per primera vegada la sèrie Unity amb múltiples reactors en una sola plataforma, la Telius, la primera màquina del món amb una estructura de cambra paral·lela, i la Tactras amb 6/8 cavitats a la dècada de 2010. L'última sèrie d'episodis de Tokyo Electron es pot equipar amb fins a 12 cavitats, cosa que millora molt l'eficiència espacial dels equips de gravat i deixa més espai perquè els fabricants ampliïn la producció.

Els equips de gravat amb múltiples reactors de gravat són essencials perquè les fabriques augmentin la capacitat de producció. Com que com més gran és el nombre de cambres en una sola màquina, més petit és l'espai de mitjana per a una única cambra. El manteniment de la planta de purificació de fàbriques requereix molts costos, reduint l'espai ocupat per un únic equip, augmentant efectivament la capacitat de producció d'hòsties de la planta de depuració per unitat d'àrea i reduint els costos d'amortització i manteniment de la fàbrica assignada a un únic equip. hòstia. La velocitat de reacció és més lenta i la sortida de l'hòstia per unitat de temps és inferior a la de l'hòstia (hòstia per hora) (equip de gravat dielèctric), que està més inclinada a adoptar l'estructura ultra-multi-cavitat. No obstant això, l'augment del nombre de cambres de PM imposa noves exigències al procés de càrrega i transport del mòdul frontal d'EFEM i del mòdul de transport TM.