Possibles causes de la pell de taronja a partir d'objectius de pulverització de tubs de polisilici

0200-09315 HChuck, anell de coberta ESC, ceràmica

0200-00234 Aïllador BKM1 TXZ MILLORAT 200MM

Problemes amb els paràmetres del procés

1. Potència de pulverització excessiva:

- L'excés de potència de pulverització pot provocar temperatures locals elevades a la superfície objectiu, provocant una evaporació desigual i la deposició del material, donant lloc a la formació d'una superfície de pell de taronja.

- Podeu comprovar la configuració de potència del dispositiu de pulverització per veure si està fora del rang objectiu.

2. La pressió de l'aire de pulverització no és adequada

- Si la pressió de l'aire de pulverització és massa baixa, el camí lliure mitjà de les partícules pot ser massa llarg, l'energia de les partícules serà massa alta i es generarà una gran força d'impacte quan toqui la superfície de l'objectiu, de manera que el la morfologia superficial de l'objectiu canviarà.

- Si la pressió de l'aire és massa alta, les partícules polsades poden xocar massa abans d'arribar al substrat, reduint l'energia i la direccionalitat de les partícules, i també pot provocar una deposició desigual a la superfície de l'objectiu.

- Cal ajustar la pressió de pulverització adequada segons les característiques de l'objectiu i els requisits del procés.

 

Orientar problemes de qualitat

1. La puresa de l'objectiu és insuficient:

- La presència d'impureses pot afectar el rendiment de la pulverització i la qualitat de la superfície de l'objectiu. Durant la sputtering, les impureses poden ser preferentment sputtering o reaccionar amb l'objectiu, donant lloc a fenòmens superficials desiguals a l'objectiu.

- Podeu comprovar el certificat de puresa de la diana o realitzar una anàlisi de la composició de la diana per determinar si hi ha impureses.

2. L'estructura interna de l'objectiu és desigual:

- Durant el procés de fabricació de l'objectiu, si hi ha porositat, esquerdes o altres defectes a l'interior, es pot exposar gradualment durant el procés de pulverització, afectant la qualitat de la superfície.

- Es poden realitzar anàlisis metal·logràfiques o altres mètodes d'inspecció sobre l'objectiu per comprovar que la seva estructura interna és homogènia.

Problemes d'equip

El camp magnètic no és uniforme

- El camp magnètic dels equips de pulverització té un paper important en el procés de pulverització. Si el camp magnètic no és uniforme, les partícules polveritzades es distribuiran de manera desigual, donant lloc a la formació de pell de taronja a la superfície de l'objectiu.

- Podeu comprovar la posició de la bobina del camp magnètic i la intensitat del corrent per assegurar-vos que el camp magnètic es distribueix uniformement.

2. La temperatura del substrat és massa alta:

- Les temperatures del substrat massa altes poden provocar una disminució de la qualitat de la capa de pel·lícula dipositada sobre el substrat i també poden afectar el procés de pulverització catòdica a la superfície objectiu. Si la temperatura del substrat és massa alta, la velocitat de difusió de les partícules polveritzades al substrat s'accelerarà, cosa que pot provocar una deposició desigual a la superfície objectiu.