El transportador de prebuit (Loadlock) i el cos principal de la plataforma de transferència

El transportador de prebuit és una cambra de transferència per a l'atmosfera i el buit, que s'utilitza per aïllar la cambra de reacció del contacte directe amb l'atmosfera exterior, per tal de garantir la neteja de la cambra de reacció i reduir la probabilitat de contaminació de la reacció. cambra. Quan el mòdul frontal ha de recollir i col·locar l'hòstia al transportador de prebuit, s'ha d'omplir de nitrogen, la pressió de l'aire a la cavitat s'ajusta a l'estat atmosfèric i, a continuació, la vàlvula de transmissió del prebuit. -El transportador de buit al costat del mòdul frontal s'obre per recollir i col·locar l'hòstia; En recollir i col·locar hòsties de la cambra de transferència (part de la plataforma de transferència) al cos de transferència prèvia al buit, cal utilitzar una bomba de buit per bombar el gas al cos de transferència al buit, ajustar-se al buit. estat i, a continuació, obriu la vàlvula de transferència a l'altre costat del cos de transferència prèvia al buit i, a continuació, realitzeu la recollida i el lloc d'hòsties.

Els passos específics perquè l'hòstia es transporti al sistema de transferència són els següents: totes les portes estan tancades → s'obre el port de càrrega de l'hòstia, s'obre la porta del casset de l'hòstia→ el manipulador atmosfèric agafa l'hòstia del vaixell d'hòstia del casset → l'hòstia es col·loca a l'alineador→ la posició de l'hòstia està calibrada→ s'omple gas nitrogen al LoadLockA→ s'obre la porta del LoadLockA→ el manipulador atmosfèric col·loca l'hòstia al LoadLockA→ tanca la porta del LoadLockA→ el LoadLockA buit → obre la porta de la cambra de reacció → El manipulador buit posa l'hòstia a la cambra de reacció → la reacció té lloc → un cop finalitzada la reacció, la cambra de reacció s'aspira → s'obre la porta de la cambra de transferència → el manipulador de buit mou l'hòstia a la cambra de transferència→ tanca la porta de la cambra de reacció→ obre la porta de LoadLockB, → el manipulador de buit mou l'hòstia a LoadLockB→ tanca la porta de LoadLockB→ LoadLockB s'omple de nitrogen → obre la porta de LoadLockB→ el manipulador atmosfèric mou l'hòstia fora de LoadLockB → tanca LoadLockB