Quina és la reacció d'atomització del forn de reducció de polisilici?

Què és elRaccióAtomització dePolisiliciReducacióFurna

El forn de reducció de polisilici és l'equip bàsic per a la producció de polisilici, i l'atomització de la reacció del forn de reducció de polisilici es refereix a la reacció de craqueig tèrmic del clorosilà al forn de reducció a causa de l'acció de l'alta temperatura, que resulta en pols de sílice fina, que forma una boira a l'espai de la fase gasosa del forn, és a dir, l'anomenat fenomen d'atomització. Si no es controla, aquesta atomització pot provocar partícules irregulars o capes internes a la superfície de les barres de polisilici, afectant la qualitat del producte.

Després que es produeixi el fenomen d'atomització, normalment hi ha canvis de paràmetres:

· La temperatura dels gasos d'escapament de reducció augmenta ràpidament;

· La tensió de reducció cau ràpidament;

· La potència de la reacció de reducció també disminueix ràpidament

· La temperatura de l'aigua de retorn de l'aigua del forn augmenta.

Hi ha moltes raons per a l'atomització al forn de reducció de polisilici, incloent, entre d'altres, l'alta temperatura superficial de la vareta de polisilici al forn de reducció, el flux insuficient d'hidrogen de matèries primeres, el flux total insuficient de matèries primeres o el contingut de diclorur de silici inadequat. Les mesures que es poden prendre per controlar l'atomització inclouen reduir la temperatura de la superfície de la vareta, augmentar el flux d'hidrogen, augmentar el flux total de matèria primera o controlar el contingut de diclorodihidrogen silà.

El cabal total del material és insuficient o el contingut de silici diclorodihidrogen és inadequat. Les mesures que es poden prendre per controlar l'atomització inclouen reduir la temperatura de la superfície de la vareta, augmentar el flux d'hidrogen, augmentar el flux total de matèria primera o controlar el contingut de diclorodihidrògen silano.

A més, amb l'aprofundiment de la investigació sobre el control òptim del forn de reducció, es constata que el forn de reducció pot tenir l'efecte de reduir el consum d'energia en diferents estats d'atomització. Per aconseguir un cert grau d'operació de la vora de la targeta de límit d'atomització, que no només pot reduir el consum d'energia, sinó que també garanteix la qualitat del producte. Tanmateix, a causa de la manca de mètodes de detecció efectius per al grau d'atomització, les estratègies de control existents són difícils d'aconseguir resultats satisfactoris.

Per resoldre aquest problema, s'ha proposat un sistema i mètode per detectar el grau d'atomització de la reacció de reducció de polisilici, que inclou un dispositiu de detecció de gasos d'escapament i un controlador central. En detectar el canvi de contingut de fum de sílice al gas d'escapament, el sistema controla digitalment el grau d'atomització del forn en temps real i l'operador pot ajustar els paràmetres del forn de reducció a temps segons els resultats de la detecció per aconseguir un control òptim. .

A més, es proposa un mètode per detectar l'atomització al forn de reducció de polisilici, que mesura el valor de la concentració de pols instal·lant un detector de pols a la canonada de sortida dels gasos d'escapament i calcula el rang i la variància per jutjar el grau d'atomització al forn, de manera que per guiar l'operador per fer els ajustos. L'aplicació d'aquestes tecnologies ajuda a millorar la qualitat del control del forn de reducció, reduir la dificultat de funcionament i garantir la qualitat dels productes de polisilici.